名古屋大学工学研究科物質科学専攻 量子スピン物性工学　
森山研究室

Contents

• 試料作製装置
• 測定装置
• その他の装置

研究施設

試料作製装置

6元スパッタリング装置：

8元スパッタリング装置＋ミリングガン：

３元蒸着装置：

磁場中アニール装置：

マスクレス露光装置：

測定装置

THz分光装置＆クライオスタット：

グローブボックス：

高周波プローバー：

回転磁場プローバー：

スピントルクFMR：

フリップチップFMR：

磁気光学カー効果測定装置：

原子間力顕微鏡：

振動試料型磁力計：

多目的レーザー顕微鏡：

回転磁場マグネット＆クライオスタット：

その他装置

NCフライス盤：